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電子ガスおよび半導体ガスの分野で、日本メーカーはどの程度の存在感を持っているのでしょうか。本記事では電子ガスおよび半導体ガス市場に参入している企業のうち、国内勢の位置づけを中心に整理します。
電子ガスおよび半導体ガス市場の参入企業
- SK Materials
- Versum Materials
- Air Liquide
- Taiyo Nippon Sanso
- Praxair-Linde
- Kanto Denka
- Showa Denko
- Air Products and Chemicals
- Hyosung
- Sumitomo Seika Chemicals
- Central Glass
- The 718th Research Institute of CSSC
- Adeka
- REC
- Mitsui Chemical
- Tokuyama
- Huate Gas
日本メーカーの位置づけ
このリストに含まれる日本企業としては、Taiyo Nippon Sanso（大陽日酸）、Kanto Denka（関東電化工業）、Showa Denko（昭和電工）、Sumitomo Seika Chemicals（住友精化）、Central Glass（セントラル硝子）、Adeka（ADEKA）、Mitsui Chemical（三井化学）、Tokuyama（トクヤマ）の8社が該当します。Taiyo Nippon Sansoは高純度ガスやエレクトロニクス向け特殊ガスの供給で知られ、Kanto Denkaはフッ素系ガスやエッチングガスに強みを持ちます。Showa Denkoは半導体製造に不可欠な高純度アンモニアや各種ドーパントガスを提供し、Sumitomo Seika Chemicalsは高純度シランガスや特殊ガスで実績があります。Central Glassはフッ素化学を活かしたエッチングガスや洗浄ガスを供給し、Adekaは成膜用の前駆体ガスや添加ガスを手掛けます。Mitsui Chemicalは高純度アンモニアや有機金属ガスを、Tokuyamaは高純度シランや水素化ケイ素ガスをそれぞれ得意としています。これらの企業は日本国内外の半導体メーカーに対して安定供給を行い、技術開発にも積極的です。
海外勢との比較
国内サプライヤーと海外サプライヤーを比較すると、技術面ではエア・リキッドやプラクサー・リンデ、エア・プロダクツが長年の研究開発で高純度ガスの製造技術に優れ、バーサムマテリアルズやタンハサン（旧太陽日酸）も特化した技術を持つ一方、SKマテリアルズや昭和電工、トクヤマは国内需要に合わせた安定した供給技術を確立しています。品質面では、海外勢はグローバル基準の厳格な管理体制で一貫性が高く、国内のセントラルガラスやADEKA、REC、三井化学も半導体プロセスに適した高品質を維持しますが、供給ロットの安定性では海外大手に若干及ばない場合があります。価格面では、国内のフアテガスや興亜化学、CSSC第718研究所は輸送コストが低く競争力がありますが、海外のハイオソンや住友精化、関東電化は規模の経済で大量購入時の価格優位性があります。サービス面では、国内は納期短縮やアフターサポートで密接な関係を築きやすい一方、海外はグローバルな技術支援体制が強みです。
国内需要の動向
日本のエレクトロニクス・半導体ガス需要は、先端半導体製造プロセスの微細化と積層化が主な原動力となっています。特に、3D NAND型フラッシュメモリやロジックデバイスの高集積化に伴い、エッチングや成膜工程で使用される高純度ガスの消費が増加しています。これらのガスは、主に半導体メーカーやフラットパネルディスプレイメーカーが購入しており、具体的にはエッチング工程での反応性ガス、成膜用のシリコン系ガス、チャンバークリーニング用のフッ素系ガスが中心です。また、酸化やドーピング工程向けのガスも需要が堅調で、自動車産業やIoT向けのパワー半導体製造にも広く使われています。日本国内では省エネルギー型製造プロセスへの移行も進み、ガスの効率的な利用が重要視されています。
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